OFERTA

Odyssey HDRF™

Producent Plasma-Therm
Aplikacja: Półprzewodniki, Paliwa, Optoelektronika, OEM / stanowiska badawcze, Nanotechnologia, Mikroelektronika, Inżynieria materiałowa, Fotowoltaika, Fotoluminescencja,
Kategoria: Plazmowe oczyszczanie powierzchni,

Oddysey HDRF firmy Plasma-Therm oferuje możliwość wyboru konfiguracji lab-to-Fab, od pojedynczej komory z ręcznym umieszczaniem podłoża, do systemów produkcyjnych z dwoma komorami i automatycznymi systemami ładowania płytek. Jednokomorowy i jednoprocesowy system może być w każdej chwili ulepszony do komory dwuprocesowej, dzięki czemu możliwe staje się przeprowadzanie procesów oczyszczania po dwóch stronach wafera.