Reaktor APEX SLR daje możliwości trawienia (ICP)i osadzania (HDPCVD) wielu różnorodnych materiałów, a małe rozmiary, niski koszt, prostota użycia i niespotykana wydajność sprawiają, że jest idealnym urządzeniem do pracyw szerokiej gamie aplikacji wR&D, prototypowaniu, liniach pilotażowych oraz produkcji nisko-objętościowej. Wykorzystywany jest na całym świecie do produkcji podzespołów w takich technologiach jak analiza zniszczeń/wydajności, fotonika, źródła światła na ciele stałym, MEMS czy technologie bezprzewodowe. System wyposażony jest w śluzę Load-lock z ręcznym załadunkiem podłoży.