Pioneer 180 jest wolnostojącym urządzeniem do nanoszenia warstw epitaksjalnych, wielowarstwowych heterostruktur i supersieci. Jest zdolny do nanoszenia warstw o grubościach nanometrycznych, a jego kompatybilność pracy w atmosferze tlenu pozwala na nanoszenie tlenków. Pioneer 180 zawiera wielotargetową karuzelę wyposażoną w niezbędne oprogramowanie pozwalające na jej obracanie i precyzyjne dobieranie odpowiednich targetów. Diagnostyka in-situ pozwala na dokładną kontrolę grubości nanoszonego materiału.
Rozmiar podłoża |
10x10mm; do dwóch cali średnicy |
Wielkość komory |
18 cali średnicy |
Próżnia |
5x10-7Torr; 5x10-9Torr (opcja) |
Temperatura podłoża |
Max 850C |