AS-Master jest uniwersalnym narzędziem pozwalającym na przeprowadzanie szerokiej gamy procesów od wygrzewania do szybkiego osadzania warstw metodą CVD (tzw. RTCVD). Wersja wysokotemperaturowa umożliwia prowadzenie procesów w zakresie temperatur do 1450ᵒC. Komora z zimnymi ścianami zapewnia powtarzalność procesów w ultra-czystym, wolnym od zanieczyszczeń środowisku. Takie parametry urządzenia jak: wysoka temperatura, możliwość pracy w próżni i mieszania gazów tworzą MS-Master odpowiednim urządzeniem do szerokiej gamy procesów RTP i RTCVD.

Oprócz wersji podstawowej, istnieje możliwość doposażenia urządzenia w śluzę załadowczą, a także system cassette-to-cassette, dzięki czemu system może być wykorzystywany zarówno w ośrodkach badawczo-rozwojowych (R&D) oraz produkcyjnych.