Platforma Versaline® jest kluczowym urządzeniem w wielu zróżnicowanych aplikacjach w zakresie rynku półprzewodników. Modułowa konstrukcja reaktora pozwala na elastyczną konfigurację ładowania podłoży i wykonywanych procesów, dzięki czemu sprosta wymaganiom wielu użytkowników z różnych branż.

Ponadto Versaline w każdej chwili daje użytkownikom dodatkowe opcje ulepszenia, dzięki czemu system może zostać przekształcony z konfiguracji manualnej, przez wykorzystanie śluzy załadowczej, aż do w pełni zautomatyzowanej opcji cassette-to-cassette.

System może przeprowadzać zarówno procesy trawienia plazmowego (ICP, DSE, RIE) oraz osadzania z wykorzystaniem plazmy (PECVD, HDPCVD).