OFERTA

ORBIS™ 3000

Producent Memsstar
Aplikacja: Elektronika, Baterie słoneczne, Baterie,
Kategoria: Trawienie i osadzanie wiązką jonów,

Platforma ORBIS™ 3000 firmy memsstar zapewnia zautomatyzowaną obsługę waferów oraz pracę z klasterami, umożliwiając dowolne połączenie do trzech modułów procesowych XERIC™ lub AURIX™. Sprawdzony w produkcji o dużej wydajności, nowy ORBIS™ 3000 pozwala przeprowadzać nawet najbardziej zaawansowane procesy technologiczne.

Najważniejsze funkcje  ORBIS™ 3000:
- małe wymiary
- łatwość podłączenia w clean-roomach
- chemikalia i elektronika są umieszczone w obudowie, minimalizując konieczność wyposażenia pomocniczego
- wykorzystanie komponentów zgodnych ze standardami przemysłowymi
- wysoka niezawodność
- łatwa konserwacja
- wsparcie przez wysoce wykfalifikowaną kadrę memsstar

Dzięki łatwej integracji z zaawansowanymi modułami procesowymi XERIC™ i AURIX™, fabryki mogą rozpoczynać pracę od jednego modułu procesowego i dodawać przyszłe moduły w przyszłości, zgodnie z zapotrzebowaniem na zwiększenie wydajności lub możliwości procesowych.

Każdy moduł procesowy memsstar wykorzystuje komorę próżniową o małej objętości, zdolną do orbóbki wszystkich standardowych rozmiarów podłoży - 100 mm, 125 mm, 150 mm, 200 mm - lub wielu różnych typów nośników i podłoży.  Komory są przeznaczone dla konkretnego procesu, dzięki zoptymalizowanemu zestawowi procesowemu dla określonego podłoża lub przeznaczenia. Wszystkie moduły procesowe oparte są na unikalnych technologiach memsstar pozwalających na zaawansowaną kontrolę procesu, krótsze czasy procesów, obróbkę gęstszych warstw, uzyskanie lepszej jednorodności czy powtarzalności między waferami.