Elipsometr UVISEL VUV to nowej generacji elipsometr spektralny  oparty ma modulacji fazy dedykowany do wyznaczania grubości oraz parametrów optycznych warstw i układów warstwowych o grubościach nano- i mikrometrycznych w zakresie VUV.
Zastosowane rozwiązania, wysoka czułość, dokładność oraz powtarzalność czynią z UVISEL VUV idealne narzędzie do badania nowych materiałów w zakresie VUV.

UVISEL VUV cechują:
- Scanning Spectroscopic Phase Modulated Ellipsometer: 147-880nm
- Szybka wymiana próbek
- Szybki pomiar
- Mała konsumpcja azotu
- Praca w azocie lub próżni
- Komputer wraz z oprogramowaniem Delta Psi2