Elipsometr spektralny SmartSE to narzędzie do wykonywania szybkich i dokładnych pomiarów parametrów cienkich warstw i układów warstwowych takich jak grubość, poszczególnych warstw i ich współczynników optycznych, chropowatości oraz niejednorodności powierzchni. Ideą stworzenia SmartSE było połączenie wysokiej jakości pomiarów z przystępną ceną porównywalną do elipsometrów laserowych.
SmartSE cechują:
- Zakres spektralny: 450nm dp 1000nm z rozdzielczością lepszą 3nm
- Źródło światła: lampa halogenowa połączona z niebieskim LED
- Czas pomiaru <1sec to 10 sec
- Rozmiar plamki 75µm * 150µm, 100µm * 250µm, 100µm * 500µm, 150µm * 150µm, 250µm * 250µm, 250µm * 500µm, 500µm*500µm
- Goniometr manualny: 45deg to 90deg możliwość zmian co 50
- Rozmiar próbki do 200mm średnicy i wysokości 17 mm
- Możliwość rozbudowy o zmotoryzowany stolik XY, zmotoryzowany goniometr
- Możliwość zamontowania SmartSE na komorze badawczej i pomiary in-situ.