Najnowsze oprogramowanie Hitachi Map 3D, dedykowane mikroskopii elektronowej, generuje trójwymiarowe obrazy bez konieczności przechylania próbki lub przesuwania obrazu. Rejestruje wszystkie cztery obrazy kierunkowe jednocześnie z obrazowaniem, za pomocą szybkiego, cztero-segmentowego detektora elektronów wstecznie rozproszonych (BSE). Oprogramowanie automatycznie zbiera dane z powierzchni próbki lub profilu jej przekroju, wykonując analizę chropowatości powierzchni oraz wysokości struktur. Ponadto, umożliwia pomiar pomiędzy dwoma dowolnie wybranymi punktami.

Cechy Hitachi Map 3D:

- bezpośrednia edycja na przyjaznym użytkownikowi interfejsie,
- wyświetlanie profilu przekroju na mapie 3D z dowolnie wybranych punktów,
- możliwość pomiarów wysokości i kąta na zdefiniowanym przez użytkownika profilu liniowym,
- analiza odległości, wysokości, nachylenia w osiach X, Y i Z pomiędzy dwoma punktami na powierzchni lub przekroju 3D,
- możliwość wyboru pomiędzy licznymi trybami renderowania 3D oraz zapisywania animacji jako filmów,
- możliwość wykonania pomiarów chropowatości liniowego profilu powierzchni, na dowolnym obszarze rekonstruowanego obrazu 3D,
- jednoczesne wyświetlanie przykładowych wyników, zarówno przed, jak  i po przetwarzaniu, obok siebie w układzie raportu.