System jakościowej i ilościowej analizy topografii powierzchni próbek SEM
- Rekonstrukcja trójwymiarowej struktury powierzchni w czasie rzeczywistym
- Przetwarzanie na podstawie sygnału z 4-segementowego detektora BSE
- Wbudowany generator skanowania i system akwizycji obrazów
- Hybrydowy lub monolityczny detektor BSE
- Pomiary realizowane w oparciu o kalibrację systemu w 3 osiach
- Próbka kalibracyjna dostarczana z systemem