OFERTA

LINE20000

Producent Alliance Concept
Aplikacja: Półprzewodniki, Optoelektronika, Nanotechnologia, Mikroelektronika, Medycyna i inżynieria biomedyczna, Inżynieria materiałowa, Fotowoltaika, Energetyka i przemysł ciężki, Charakterystyka powierzchni / Inżynieria powierzchni,
Kategoria:
Karta produktu: [ Pobierz ]

System Line2000 pracuje na zasadzie podobnej do Line440. Również tutaj podłoża przesuwają się poziomo pod prostokątnymi źródłami osadzanych materiałów. Wyposażony w osiem katod o długości 2,5m, system oferuje możliwość wytwarzania kompleksowych układów wielowarstwowych na powierzchniach do 2x2m i masie do 1,5t. Śluza załadowcza posiada zaimplementowany moduł plazmowego oczyszczania powierzchni, dzięki czemu nanoszone warstwy charakteryzują się doskonałą przyczepnością i jednorodnością. W zależności od osadzanego materiału, możliwa jest indywidualna konfiguracja odpowiednich targetów (DC, MF, RF). Zewnętrzna ładowarka może pomieścić do pięciu podłoży.