OFERTA

LINE440

Producent Alliance Concept
Aplikacja: Charakterystyka powierzchni / Inżynieria powierzchni, Energetyka i przemysł ciężki, Fotowoltaika, Inżynieria materiałowa, Medycyna i inżynieria biomedyczna, Mikroelektronika, Nanotechnologia, Optoelektronika, Półprzewodniki,
Kategoria:
Karta produktu: [ Pobierz ]

Alliance Concept przedstawia Line440, w którym podłoża przesuwają się poziomo pod  źródłami osadzanego materiału. Główną zaletą tego urządzenia jest możliwość ładowania i wyjmowania podłoży w odpowiednich strefach bez konieczności przerywania procesu nanoszenia w komorze reaktora. Funkcja ta została osiągnięta dzięki zastosowaniu wielopoziomowej śluzy załadowczej (do 4 poziomów). System posiada targetyo standardowych wymiarach stosowanych w tego typu urządzeniach 127x381mm (5x15”). Dzięki zintegrowanemu oczyszczaniu powierzchni podłoża przed przystąpieniem do właściwego procesu, nanoszone warstwy mają wysoką jakość i jednorodność. Dla specjalnych zastosowań, możliwe jest wyposażenie Line440 w grzałkę podnoszącą temperaturę podłoża do 600⁰C.