Firma Plasma-Therm oferuje reaktor Vision 322 RIE/PE dla aplikacji, które wymagają niskiej gęstości plazmy z małym lub zerowym bombardowaniem jonowym. System Vision 322różni się od modelu 320 jedynie możliwością przyłożenia napięcia polaryzacyjnego do górnej, zamiast dolnej elektrody. Jony nie są przyspieszane w kierunku podłoża, co w rezultacie doprowadza do bardziej chemicznego, izotropowego trawienia. Dla dodatkowej elastyczności działania, Vision 322 może pracować również w trybie RIE, w którym polaryzowana jest dolna elektroda. Ta kombinacja pozwala na pełen zakres wyboru pracy pomiędzy trybami RIE i PE, a więc pomiędzy fizycznym i chemicznym mechanizmem trawienia.