IM4000II
Producent
Hitachi High Technologies
Aplikacja:
Półprzewodniki, Nanotechnologia, Mikroelektronika, Inżynieria materiałowa, Charakterystyka powierzchni / Inżynieria powierzchni,
Kategoria:
Urządzenia do przygotowania próbek,
System frezowania jonowego IM4000II
IM4000II umożliwia zarówno frezowanie w przekroju poprzecznym, jak i frezowanie płaskie w celu przygotowania próbek w zależności od przeznaczenia. Kontrola temperatury chłodzenia, uchwyt Air Protection oraz inne opcje umożliwiają przygotowanie różnych przekrojów poprzecznych próbek.
Cechy:
- Duża szybkość frezowania – Szybkość frezowania przekroju poprzecznego IM4000II wynosi 500 µm/h lub więcej. Jest to efektywne w przypadku twardych materiałów, które metodami konwencjonalnymi wymagają dłuższej obróbki. Gdy zmienia się kąt wychylenia podczas frezowania przekroju poprzecznego, zmienia się odpowiednio szerokość obróbki i głębokość,
- Frezowanie przekroju poprzecznego – Czystą powierzchnię można uzyskać poprzez frezowanie wystających poza krawędź maski części próbki. Dzięki bombardowaniu wiązką jonów równolegle do obrabianej powierzchni próbki, możliwe jest uzyskanie płaskiego i gładkiego frezowania nawet w przypadku złożonych materiałów o różnym składzie,
- Frezowanie płaskie – Podczas frezowania płaskiego, poprzez mimośrodowość wiązki jonowej i obracanie punktu centralnego próbki, można obrabiać większy obszar niż podczas frezowania poprzecznego. Możliwe jest również uwypuklenie lub zmniejszenie nieregularności poprzez zmianę kąta bombardowania wiązki jonów w celu ujawnienia orientacji kryształów i/lub subtelnych różnic w składzie.
Opcje:
- Kontrola temperatury chłodzenia – Wrażliwe próbki mogą być chłodzone ciekłym azotem podczas obróbki. Kontrola temperatury chłodzenia wykorzystuje chłodzenie pośrednie i utrzymuje temperaturę podczas obróbki, aby zapobiec ewnetualnym przemianom fazowym,
- Uchwyt Air Protection – może być używany do przenoszenia próbek wrażliwych na działanie powietrza (takich jak materiał do produkcji akumulatorów) w izolacji od środowiska zewnętrznego. Próbka wykonana przy użyciu IM4000II może być umieszczona w SEM i/lub mikroskopie sił atomowych (AFM) bez narażania jej na działanie środowiska zewnętrznego. Uchwyt Air Protection jest kompatybilny z Hitachi High-Tech FE-SEM oraz Hitachi High-Tech AFM z systemem próżniowym. Funkcja ta może być stosowana w połączeniu z kontrolą temperatury chłodzenia (z wyjątkiem uchwytu do frezowania płaskiego).
- Mikroskop stereoskopowy do obserwacji procesów frezowania – Mikroskop stereoskopowy może zostać dołączony do sytemu w celu obserwacji próbki podczas procesu frezowania. Dostępne są systemy zarówno binokularowe jak i trinokularowe. Wersja trójokularowa pozwala na przesyłanie widoku na zewnętrzny monitor, jeśli jest wyposażona w kamerę CCD.
Więcej informacji można znaleźć na stronie producenta.